產(chǎn)品中心
CIF專注材料表面處理技術(shù),為客戶提供專業(yè)清洗、去膠、刻蝕、涂層等方面儀器裝備和應(yīng)用工藝解決方案!產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。
◆ PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
◆ 石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。
◆ 采用質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。
◆ HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
◆ 60 度傾角操作界面設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。
◆ 頂置真空艙,上開蓋設(shè)計(jì),下壓式鉸鏈開關(guān)方式,開關(guān)蓋方便。
◆ 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。
◆ 上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作更方便。
◆ 有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。
◆ 安全保護(hù),艙門打開,自動(dòng)關(guān)閉電源。
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