產(chǎn)品中心
CIF專(zhuān)注材料表面處理技術(shù),為客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)清洗、去膠、刻蝕、涂層等方面儀器裝備和應(yīng)用工藝解決方案!產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品詳情
等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線(xiàn) 路板、LED、微流控、光電太陽(yáng)能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,主要用 于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的。
產(chǎn)品特點(diǎn)
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。
◆ PLC 控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
◆ 用美國(guó)德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì) (CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣或混合氣等氣體,氣體控制精準(zhǔn)。
◆ 氣體返填吹掃,HEPA 高效過(guò)濾,防止二次污染。
◆ 316 不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統(tǒng)采用316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。
◆ 采用 60 度傾角操作面板設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方 便,界面友好。
◆ 上控制下艙體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間小。
◆ 內(nèi)凹式前面板設(shè)計(jì),有效保護(hù)流量計(jì)和艙門(mén)不易損壞。
◆ 處理快速高效均勻,無(wú)污染,工藝重復(fù)性好。
◆ 樣品處理溫度低,無(wú)熱損傷和熱氧化。
◆ 安全保護(hù),艙門(mén)打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。
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